【热点直击】上海微电子极紫外(EUV)光刻机首秀 光刻机（胶）概念持续活跃

9月24日，光刻机（胶）概念继续持续活跃，概念龙头张江高科涨停，再创历史新高。联合化学、华软科技、彤程新材、格林达涨停，南大光电、安集科技、富创精密、芯源微涨幅超过10%。

消息面上，9月23日，在第25届中国国际工业博览会开幕式上，首批上海市中试平台示范名单发布，四家入选，包括光刻胶及原材料中试平台、新型储能测试基地（应用示范电站）中试平台、面向航发领域的高端机床装备中试平台，以及人形机器人中试平台。当日，芯上微装携多款重磅新品精彩亮相，并凭借卓越的技术实力，成功斩获展会最高荣誉“工博会CIIF大奖”及“集成电路创新成果奖”。上海微电子(SMEE)展台上首次公开亮相了极紫外(EUV)光刻机参数图。

国金证券表示，上海微电子以及芯上微装各自都展出重磅产品，背后对应的是今年产业端重磅的“0—1”突破，先进封装机台正式量产、干法DUV近期将进入量产测试阶段、国产EUV进入原理机搭建阶段（本次展出为EUV概念验证机），国产光刻机产业进入爆发元年。

根据华鑫证券研报，在国家政策支持下，国内企业加速研发突破光刻机制造技术，目前国产光刻机在90nm及以下工艺节点方面取得了重要进展。例如，上海微电子自主研发的600系列光刻机已实现90nm工艺的量产，并正在进行28nm浸没式光刻机的研发工作。近期，宇量昇与中芯国际的合作测试是国产光刻机突破的重要信号。从产业影响看，华鑫证券认为光刻机技术的突破将带动上游材料、精密机械等配套产业升级，加速光刻胶、光学部件等“卡脖子”材料的国产化进程，形成“龙头带动、多点突破”的产业升级格局。

光刻机（胶）概念相关股票：联合化学、华软科技、张江高科、彤程新材、南大光电、上海新阳、晶瑞电材、芯源微、安集科技。

责任编辑：刘栩