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中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户

  2月7日,上海微电子举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式,这标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。(券中社)

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