晶瑞电材：高端KrF（248）光刻胶已完成中试 进入客户测试阶段

　　晶瑞电材表示，公司高端KrF光刻胶已完成中试，建成了中试示范线，已进入客户测试阶段。近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。目前ArF高端光刻胶研发工作已正式启动，已完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等设备购置，其中ASML1900Gi型光刻机设备正在积极调试中。同时公司正在积极开展对上游材料树脂单体及配方的研究。