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华特气体:公司光刻气产品获得日本GIGAPHOTON株式会社合格供应商认证函

  华特气体:公司四款光刻气产品(Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne)均通过了日本GIGAPHOTON株式会社的合格供应商认证,公司目前是国内唯一一家同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体公司。

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