上微推出新一代先进封装光刻机 首台将于年内交付 ©原创 2021-09-19 15:51 0 据上海微电子装备集团官方公众号，昨日，上微举行新产品发布会，宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。目前，上微已与多家客户达成新一代先进封装光刻机销售协议，首台将于年内交付。
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