彤程新材:拟在上海化学工业区内投资6.9853亿元建设“ArF高端光刻胶研发平台建设项目”,主要研究ArF湿法光刻胶工业化生产技术开发,通过建立标准化的生产及控制流程,提升高端光刻胶的质量控制水平,实现193nm湿法光刻胶量产生产;同时,逐步建立先进的集成电路及配套材料开发与应用评价平台。
彤程新材:拟在上海化学工业区内投资6.9853亿元建设“ArF高端光刻胶研发平台建设项目”,主要研究ArF湿法光刻胶工业化生产技术开发,通过建立标准化的生产及控制流程,提升高端光刻胶的质量控制水平,实现193nm湿法光刻胶量产生产;同时,逐步建立先进的集成电路及配套材料开发与应用评价平台。
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