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天虹科技Mini/Micro LED用ALD设备获晶电采用

  天虹科技突破高阶半导体设备自制瓶颈,成功开发出原子层沉积ALD(Atomic Deposition Layer)设备,成为台湾地区第一家“量产”ALD薄膜制程的设备厂商,并获得晶电的验证及采用,成为晶电推动LED科技商业化应用的重要伙伴。(LEDinside)

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