7月13日,上海精测半导体官宣,国内首台12寸独立式光学线宽测量设备(OCD)与国内唯一12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM)顺利出机。同日,上海精测半导体母公司精测电子在其披露的投资者调研纪要中确认,上述两款产品交付的客户为国内一流先进制程晶圆厂中芯国际。(中国证券报)
7月13日,上海精测半导体官宣,国内首台12寸独立式光学线宽测量设备(OCD)与国内唯一12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM)顺利出机。同日,上海精测半导体母公司精测电子在其披露的投资者调研纪要中确认,上述两款产品交付的客户为国内一流先进制程晶圆厂中芯国际。(中国证券报)
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