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中电科发布多项技术创新成果 为芯片制造企业提供一站式解决方案

  7月8日,在北京亦庄创新发布会上,中电科电子装备集团有限公司发布了离子注入机、化学机械抛光设备、湿法设备等多项技术上的创新成果,为国内外芯片制造企业提供一站式解决方案。中电科电子装备集团有限公司战略计划部主任李进介绍,电科装备8英吋CMP设备市占率达70%,12英吋CMP进入客户验证,性能表现优异。电科装备湿法设备已进入到8英吋集成电路外延片加工和芯片制造领域。(证券时报)

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